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300㎜対応の酸化・拡散・LP-CVD量産装置｜製品情報｜株式会社ジェイテクトサーモシステム

Φ300㎜対応、酸化・拡散・LP-CVD量産装置。また、FO-WLP等パッケージ向けや、IGBT用薄ウェーハ（TAIKO）搬送にも対応。



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